| 技术规格及参数 | （1. 具备显微观察功能；2. 具有高精度压电光电流 ******* 扫描功能；3. 提供测试集成软件：可实现常规电性测试，包含 I-V 曲线，转移曲线，输出曲线测试等；光电特性测试，精确测量光电流，并记录光电流随时间的变化包含器件光电响应 I-t 或者 V-t，不同光强下光电特性 I-V-光强等;提供 ***** 软件定制集成；4. 该系统应预留光路集成位置，用以兼容氙灯光路、空间耦合激光光路、线偏及圆偏光路等复杂测试。）
技术参数
1. 屏蔽电学测试平台
1.1 探针台体行程X-Y：****-****，移动精度2μm；
1.2 样品台移动精度2μm，旋转角度：***度；
1.3 样品台中心吸附孔固定样品；真空泵流量**/***；
1.4 光电屏蔽罩壳，3同轴接口4个；空间自由光路安装面包板，尺寸***********，可兼容氙灯光路、空间耦合激光光路、线偏及圆偏光路等复杂测试。）
1.5 *同轴高精度探针座，数量4个，***行程****；精度2μm；夹具漏电流*****；探针针尖直径5μm，数量**根；
2. 金相显微光路
2.1金相显微成像系统：物镜安装位5个，2,5,**,**倍各*个，工作距离均****；
2.2白色***照明：功率**，亮度可调；滤光片：特征波长覆盖***，***，***，***，*****；
2.3 显微相机：****传感器像素*****，提供显微相机操作软件；
2.4 显微粗微调支架，调节范围****，精度***；
2.5 电动快门，最高频率****；
3. 光电流测试系统
3.1光电流量程：***-*****，电压通道量程0.**-***，***振幅光电流响应速度*****，*****振幅光电流响应速度****；
3.2 光电流采样率****/s，垂直分辨率*****；
3.3 适配实验室现有的*****源表及接线；
3.4 光电/光谱测试软件：I-V测试、I-t测试、I-V-光强测试、自动激光光强校准；
4. 光电流压电扫描模块：压电扫描范围*******μm，定位分辨率****，扫描光学分辨率1μm（**倍物镜）
所响应产品必须是全新、未使用过的原装合格正品（包括*部件），如安装或配置了软件的，须为正版软件。 |
